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光刻膠用的時候需要稀釋嗎?
光刻膠在未曝光之前是一種黏性流體,不同種類的光刻膠具有不同的黏度。黏度是光刻膠的一項重要指標。那么光刻膠的黏度為什么重要?黏度用什么表征?哪些光刻膠算高黏度,哪些算低黏度呢?黏度對工藝的影響有哪些?光刻膠何時需要稀釋呢?
來源: | 作者:pmoe2a7d5 | 發布時間: 2023-12-26 | 1266 次瀏覽 | 分享到:

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       光刻膠是否需要稀釋應該取決于它的初始黏度、工藝所需厚度、旋涂設備能力等。一些光刻膠是供應商預先配置的,黏度已經調整至工藝需求,不需要自行稀釋。但是,如果光刻膠的初始黏度太高,超過工藝需求,那么可能要進行稀釋。有時候,通過調整旋涂設備的參數無法得到所需涂層,但又不想更換光刻膠就可以考慮調整光刻膠粘度。也可考慮在線黏度控制系統,其中包括黏度計、稀釋系統等。當黏度計測得的黏度大于設定黏度時,稀釋系統會自動補加相應溶劑,直至達到工藝設定值時停止。