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光刻膠是否需要稀釋應該取決于它的初始黏度、工藝所需厚度、旋涂設備能力等。一些光刻膠是供應商預先配置的,黏度已經調整至工藝需求,不需要自行稀釋。但是,如果光刻膠的初始黏度太高,超過工藝需求,那么可能要進行稀釋。有時候,通過調整旋涂設備的參數無法得到所需涂層,但又不想更換光刻膠就可以考慮調整光刻膠粘度。也可考慮在線黏度控制系統,其中包括黏度計、稀釋系統等。當黏度計測得的黏度大于設定黏度時,稀釋系統會自動補加相應溶劑,直至達到工藝設定值時停止。