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剝離（lift off）適應化學藥液——NMP是N-甲基吡咯烷酮，一種有機物。是高壓供給藥液，高溫藥液。避免暴露，密封保存。優(yōu)良高級溶劑，是選擇性強和穩(wěn)定性好的極性溶劑。高精密電子、電路板、鋰電池的優(yōu)良清洗劑。

NMP液體--高溫高壓  DMSO液體--高溫高壓去膠剝離機
半導體工藝中的撕金剝離工藝
功能有：浸泡槽-高壓腔-清洗腔
浸泡槽功能有：加熱-超聲-晃動功能
高壓腔：在線加熱，常壓噴嘴
清洗腔：可選超聲波功能，BRUSH功能

拓展小知識——Auto Strip-自動剝離機產(chǎn)品特點：

線性布局，自動傳片，自動完成去膠工藝。
晶圓尺寸根據(jù)用戶需求。
腔體共有三層，每層都有單獨的藥液排放 循環(huán)功能。
清洗多種金屬顆粒和有機物殘留。
藥液在循環(huán)中，根據(jù)顆粒大小配備相應過濾系統(tǒng)。
藥液恒溫，或在線加熱供給功能。

一、適應的藥液有以下幾種：

NMP液體--高溫高壓

DMSO液體--高溫高壓

IPA液體

DI-water

二、功能選擇：

片盒到片盒

進口機械手

CHAMBER采用耐酸堿材質(zhì)

分層藥液排放，省液，提供了生產(chǎn)率

自動供液、補液。