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開機和打開軟件等操作步驟：

1.開啟設備電源。按下顯示屏左上方綠色電源ON按鈕開啟設備電源，再按下設備后上方UPS電源開啟工控機PC的電源，再按下顯示屏上方黃色ROBOT電源按鈕(按下時間需保證在0.5秒~5秒之間)，打開機器人伺服開關。

2. 檢查真空和壓縮空氣壓力是否達到。查看設備后方的各真空壓力表和壓縮空氣壓力表的顯示值，若為零則是真空或壓縮空氣未開啟需要開啟。

3.打開軟件。雙擊桌面desktop _ctc 快捷圖標打開軟件。進入軟件界面操作之前需要登錄，可選擇OEM用戶，暫時無密碼。

4. 初始化設備各單元。點擊軟件界面下方第3個圖標按鈕SERVICE， 再點擊SERVICE界面右邊緣第4個圖標按鈕Init,再在Init界面中點左下部AllI Init 按鈕，然后等待初始化完成，所有按鈕的文字由白色恢復為黑色表示全部初始化完成。(軟件啟動之后只需要進行一次初始化，除非出現錯誤報警，否則不需要再次進行初始化) (如果初始化過程中發生報警報警鈴響且界面 上方Alarm和Buzer off圖標按鈕變紅色，表示某個單元存在問題，需要聯系設備相關工程師解決問題)

自動勻膠操作步驟:

1.將晶片(wafer) 放入片盒(assette) 中(暫時第1槽位(slot1) 先不要放入，第1槽位目前存在問題)，然后將片盒放到片盒臺面的左邊卡槽(對應軟件中的片盒CS1)中，放好之后檢查片盒外部晶片邊緣是否豎直對齊。

2.點擊軟件界面下方第1個圖標按鈕MAIN,然后點擊MAIN界面左部的LOT1 Control按鈕(與步驟1中的CS1對應)。

3.檢查LOT1 Control按鈕彈出界面中的晶片尺寸WaferSize (3Inch 或4Inch)是否正確，槽位范圍Range設置(自動運行時一般為1-25)、循環次數Loop Count是否為1。若配置無誤，點擊Select Lot Recipe按鈕選擇正確的勻膠自動運行配方(例如cot _test al)。配方選擇好之后點擊Start按鈕，即開始自動運行勻膠程序。

4.自動運行結束之后會有響鈴提示，同時Buzzer off按鈕變紅色，取下片盒或者點擊Buzzeroff按鈕即可關閉鈴聲。若要退出軟件點擊界面右上方的Exit按鈕。

自動顯影操作步驟與上述步驟相似，不同的地方有:

1.在上述第1步中將片盒放在右邊卡槽中(對應軟件中的片盒CS2) (并非必須要這樣，兩邊卡槽其實都可以運行)。

2.在上述第2步中點擊MAIN界面左部的LOT2 Control按鈕(與上面步驟中的CS2對應)。3,在上述第3步中選擇顯影對應的配方(例如dev. test all)。