我們懷著極大的興奮,邀請陜西能源職業技術學院的師生們蒞臨我們公司進行一次精彩紛呈的企業參觀活動!學校到企業參觀學習有助于學生發展實踐技能。在企業現場,學生有機會親自參與到一些實際操作中,學生們的愛姆加之旅這對于培養他們的實際動手能力和解決問題的能力至關重要。通過與企業專業人士的互動,學生能夠學到更多實用的技能和經驗,這對他們未來就業起到積極的推動作用。學校到企業參觀學習還有助于激發學生的職業興趣和規劃未來。很多學生在參觀了企業后可能會對某個行業或職業方向產生濃厚興趣,學生們的愛姆加之旅這有助于他們更加明確自己的職業目標。通過與企業從業者的交流,學生可以獲得關于職業發展的建議和指導,有助于更好地規劃自己的職業生涯。學校到企業參觀學習是一種極富教育意義的活動,它不僅為學生提供了與實際工作環境接觸的機會,也促進了他們的綜合素養發展。學生們的愛姆加之旅加強了學校與企業的溝通交流,使學生能夠更好地為未來的職業生涯做好準備。
?? 發現創新科技:讓學生親身感受我們公司的科技設備和創新工作流程,為未來科技領域的發展提供新的思路和靈感。
?? 實踐與學術結合:我們將為學生提供一個融合學術知識與實際應用的機會,讓他們了解職場需要的技能和素養。
?? 與行業專業人士交流:學生們將有機會與我們公司的專業人才面對面交流,聽取他們的職業建議和實踐經驗分享。
愛姆加專業從事半導體和顯示行業工藝設備的設計、生產,以及半導體和顯示行業工藝技術開發、技術服務。所提供的半導體和顯示工藝設備產品包括:勻膠機、半自動和全自動勻膠顯影機、半導體噴膠機、槽式(Wet Bench)及單片(Single Wafer)的蝕刻-剝離-清洗自動生產線。我們公司技術人員帶領學生了解了全自動勻膠顯影機,現介紹如下:勻膠顯影機結構分為晶圓盒工作站、工藝處理部分與光刻機聯機的機口界面。勻膠顯影機流程的控制程序:光刻材料的旋涂和烘烤-晶圓背面清洗-光刻機曝光-去離子水清洗-后烘烤-顯影。勻膠顯影機內的主要工藝單元有:晶圓表面增粘處理、光刻膠旋涂單元、烘烤和冷卻、邊緣曝光、顯影單元、光刻膠線條倒塌及其解決辦法。勻膠顯影機清洗單元工藝:去離子水沖洗、晶圓背面清洗(邊緣夾持技術、分區域背面清洗)。技術人員帶領學生操作勻膠顯影機如下步驟:
開機和打開軟件等操作步驟:
1.開啟設備電源。按下顯示屏左上方綠色電源ON按鈕開啟設備電源,再按下設備后上方UPS電源開啟工控機PC的電源,再按下顯示屏上方黃色ROBOT電源按鈕(按下時間需保證在0.5秒~5秒之間),打開機器人伺服開關。
2. 檢查真空和壓縮空氣壓力是否達到。查看設備后方的各真空壓力表和壓縮空氣壓力表的顯示值,若為零則是真空或壓縮空氣未開啟需要開啟。
3.打開軟件。雙擊桌面desktop _ctc 快捷圖標打開軟件。進入軟件界面操作之前需要登錄,可選擇OEM用戶,暫時無密碼。
4. 初始化設備各單元。點擊軟件界面下方第3個圖標按鈕SERVICE, 再點擊SERVICE界面右邊緣第4個圖標按鈕Init,再在Init界面中點左下部AllI Init 按鈕,然后等待初始化完成,所有按鈕的文字由白色恢復為黑色表示全部初始化完成。(軟件啟動之后只需要進行一次初始化,除非出現錯誤報警,否則不需要再次進行初始化) (如果初始化過程中發生報警報警鈴響且界面 上方Alarm和Buzer off圖標按鈕變紅色,表示某個單元存在問題,需要聯系設備相關工程師解決問題)
自動勻膠操作步驟:
1.將晶片(wafer) 放入片盒(assette) 中(暫時第1槽位(slot1) 先不要放入,第1槽位目前存在問題),然后將片盒放到片盒臺面的左邊卡槽(對應軟件中的片盒CS1)中,放好之后檢查片盒外部晶片邊緣是否豎直對齊。
2.點擊軟件界面下方第1個圖標按鈕MAIN,然后點擊MAIN界面左部的LOT1 Control按鈕(與步驟1中的CS1對應)。
3.檢查LOT1 Control按鈕彈出界面中的晶片尺寸WaferSize (3Inch 或4Inch)是否正確,槽位范圍Range設置(自動運行時一般為1-25)、循環次數Loop Count是否為1。若配置無誤,點擊Select Lot Recipe按鈕選擇正確的勻膠自動運行配方(例如cot _test al)。配方選擇好之后點擊Start按鈕,即開始自動運行勻膠程序。
4.自動運行結束之后會有響鈴提示,同時Buzzer off按鈕變紅色,取下片盒或者點擊Buzzeroff按鈕即可關閉鈴聲。若要退出軟件點擊界面右上方的Exit按鈕。
自動顯影操作步驟與上述步驟相似,不同的地方有:
1.在上述第1步中將片盒放在右邊卡槽中(對應軟件中的片盒CS2) (并非必須要這樣,兩邊卡槽其實都可以運行)。
2.在上述第2步中點擊MAIN界面左部的LOT2 Control按鈕(與上面步驟中的CS2對應)。3,在上述第3步中選擇顯影對應的配方(例如dev. test all)。
若自動運行過程中發生報警報警鈴響且界面上方Alarm和Buzzer off圖標按鈕變紅色,表示某個單元出現了問題,需要聯系設備相關工程師解決問題。