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芯片無(wú)塵室的超凈服介紹
在勻膠顯影設(shè)備凈化間，工作人員通常需要穿著超凈服以確保產(chǎn)品的質(zhì)量和純度，保證實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的精確。這種服裝的設(shè)計(jì)主要是為了防止工作人員的身體表面或呼出的空氣對(duì)微型電子元件的制造環(huán)境產(chǎn)生污染。超凈服通常被稱為Cleanroom Suit"或者"Bunny Suit"，做半導(dǎo)體制造的小伙伴應(yīng)該對(duì)超凈服比較熟悉，但是你確定自己懂它嗎?
超凈服的歷史——超凈服，是由英特爾Fab工廠提出，其歷史可以追溯到1968年。當(dāng)時(shí)的芯片無(wú)塵室內(nèi)工作人員穿著自己的衣物，并且環(huán)境并非無(wú)菌的。甚至有人會(huì)把比薩餅放在擴(kuò)散爐上烘烤加熱。到了1971年，Intel的Fab 2工廠要求員工穿著專用罩衣，但不需要頭套或護(hù)腿。員工可以把它們帶回家洗，這種做法在常規(guī)清潔度上可能足夠，但卻無(wú)法防止小顆粒污染微芯片。更嚴(yán)格的清潔服裝協(xié)議始于1973年，Intel的Fab3工廠普及了我們目前熟悉的現(xiàn)代超凈服，并在1980年成為Intel公司的標(biāo)準(zhǔn)，隨后流行開(kāi)來(lái)。
超凈服的材質(zhì)——常見(jiàn)材質(zhì)為聚酯。超凈服所用的聚酯材料是一種常見(jiàn)的聚合物，主要由聚酯纖維制成。聚酯是一種大分子聚合物，由酯基連接的單體重復(fù)單元組成。酯基是一個(gè)化學(xué)功能團(tuán)，由一個(gè)羰基(C=O)和一個(gè)氧原子(-0-)組成，形式為 -C00-。聚酯是聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯(PET)。
以下是聚酯材料的一些主要特性:
1.耐磨:聚酯是一種非常耐磨的材料，其強(qiáng)度比自然纖維高。
2.耐化學(xué)品:聚酯對(duì)大多數(shù)常見(jiàn)的工業(yè)化學(xué)品具有很好的抵抗力，包括酸，堿和有機(jī)溶劑。這使得它在需要接觸化學(xué)品的環(huán)境中非常有用。
3.易洗:聚酯纖維的另一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是它易于清洗，可以在機(jī)器中洗滌，且不易皺。此外，它可以在高溫下清洗，這對(duì)于保持超凈服的潔凈至關(guān)重要。
4.防靜電:聚酯本身可能會(huì)產(chǎn)生靜電，但是超凈服的聚酯材料通常會(huì)摻入防靜電纖維或者涂覆有防靜電劑，以降低靜電積累。超凈服的靜電如何導(dǎo)走的?
超凈服防止靜電積聚的一種重要方式是通過(guò)地面接地系統(tǒng)，將人體產(chǎn)生的靜電導(dǎo)入大地。在勻膠顯影設(shè)備生產(chǎn)車間，員工通常需要穿戴特別的防靜電鞋或鞋套。這些鞋子或鞋套是由導(dǎo)電材料制成的，可以將人體產(chǎn)生的靜電從人體導(dǎo)入到地面。#凈化間的勻膠顯影設(shè)備#半自動(dòng)勻膠機(jī)#勻膠顯影工藝#愛(ài)姆加半導(dǎo)體設(shè)備
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