刻蝕機(jī)可根據(jù)不同標(biāo)準(zhǔn)分為干法刻蝕機(jī)和濕法刻蝕機(jī)。濕法刻蝕機(jī)是指利用溶液的化學(xué)反應(yīng)來進(jìn)行蝕刻。濕法刻蝕機(jī)通常根據(jù)工作方式的不同分為靜態(tài)刻蝕機(jī)和動(dòng)態(tài)刻蝕機(jī)。靜態(tài)刻蝕機(jī)使用旋轉(zhuǎn)或振動(dòng)平臺(tái)將樣品暴露在刻蝕液中,進(jìn)行慢速腐蝕,適用于刻蝕尺寸較大、較厚的樣品。而動(dòng)態(tài)刻蝕機(jī)則采用更快地流速,使刻蝕液在樣品表面形成更強(qiáng)烈的刻蝕作用,適用于刻蝕尺寸較小、壁