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光刻膠中的溶劑的種類及作用？

丙二醇甲醚醋酸酯（PGMEA），乙二醇甲醚醋酸酯（EGMEA），1-甲氧基-2-丙酯等。溶劑的作用是溶解光刻膠中的聚合物、感光劑和其他添加劑。使光刻膠形成均勻的液相狀態(tài)。其次是可以調節(jié)光刻膠的粘度。

光刻膠溶劑如何變化？
在旋轉涂膠前，光刻膠通常包含65%到85%的溶劑。旋轉膠后，溶劑減少到10%到20%，但是膠膜仍處于半液半固體狀態(tài)。軟烘后溶劑的理想量約為4%到7%。由于溶劑在軟烘過程中減少，光刻膠膜的厚度也在不斷減薄。

光刻膠溶劑為什么會變少？
旋涂過程中，會在晶圓表面和周圍產(chǎn)生空氣流動，形成層流或湍流。溶劑會不斷揮發(fā)，導致溶劑量減少。離心力旋涂過程中，由于晶圓的高速旋轉，離心力將光刻膠甩向晶圓邊緣，同時多余的溶劑被甩出，導致溶劑量減少。

烘烤中溶劑的變化？
加熱過程中，光刻膠層中的溶劑吸收熱能，其分子運動加劇，蒸汽壓升高。當蒸汽壓超過大氣壓時，溶劑分子從液態(tài)轉變?yōu)闅鈶B(tài)并蒸發(fā)。