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勻膠機(jī)均勻性計(jì)算
對(duì)于一臺(tái)勻膠機(jī)的勻膠的質(zhì)量效果是怎樣計(jì)算: 1.光阻的質(zhì)量也是重要; 2.勻膠機(jī)的主軸電機(jī)了一樣; 3.外圍條件(排風(fēng)、送風(fēng))
來源: | 作者:pmoe2a7d5 | 發(fā)布時(shí)間: 2020-03-27 | 3618 次瀏覽 | 分享到:

對(duì)于一臺(tái)勻膠機(jī)的勻膠的質(zhì)量效果是怎樣計(jì)算: 1.光阻的質(zhì)量也是重要; 2.勻膠機(jī)的主軸電機(jī)了一樣; 3.外圍條件(排風(fēng)、送風(fēng))
光刻膠的均勻性計(jì)算公式