今天十四场的对阵表|nba最高球员|康纳vs|竞彩足球让球胜平负对阵表开|巡回锦标赛奖金分配

 
歡迎您來到愛姆加電子設(shè)備有限公司官網(wǎng)，我們將竭誠為您服務(wù)！

服務(wù)電話：+86-15891750928

設(shè)為首頁|加入收藏
愛姆加logo
愛姆加電子設(shè)備
勻膠顯影蝕刻專用設(shè)備生產(chǎn)商



誠信創(chuàng)新
精工
專注
專注成就品質(zhì)，品質(zhì)塑造未來！
Focus on the achievement of quality, quality to shape the future！?
新聞中心
勻膠顯影機(jī)
勻膠顯影機(jī)是完成除曝光以外的所有光刻工藝的設(shè)備，包括光刻材料的涂布、烘烤、顯影、晶圓背面的清洗以及用于浸沒式工藝的晶圓表面的去離子水沖洗等。
來源: | 作者:pmoe2a7d5 | 發(fā)布時(shí)間: 2020-03-27 | 2268 次瀏覽 | 分享到:

      勻膠顯影機(jī)一般由四部分組成。第一部分是晶圓盒工作站（wafer cassette station），晶圓盒在這里裝載到機(jī)器上。機(jī)械手（robot arm）從晶圓盒中把晶圓抽出來，傳送到工藝處理部分（process block），即第二部分。工藝處理部分是勻膠顯影機(jī)的主體，增粘模塊（adhesion enhancement）、熱盤（hot plate）、冷盤（chill plate）、旋涂、顯影等主要工藝單元都安裝在這里，一個(gè)或兩個(gè)機(jī)械手在各單元之間傳遞晶圓。第三部分是為浸沒式光刻工藝配套的單元，包括晶圓表面水沖洗單元、背清洗單元等。第四部分是和光刻機(jī)聯(lián)機(jī)的接口界面（interface），包括暫時(shí)儲(chǔ)存晶圓的緩沖盒（buffer）、晶圓邊緣曝光（wafer edge exposure，WEE）和光刻機(jī)交換晶圓的接口等。