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HOT Plate熱板烘烤
來源: | 作者:pmoe2a7d5 | 發布時間: 2020-03-27 | 2861 次瀏覽 | 分享到:




高溫熱板爐

       對于大批量生產的用的勻膠顯影機的ＯＶＥＮ單元，為什么在硅晶圓等基片與熱板是非接觸的，這樣的設計的理念是有一定的科學依據的，熱的傳遞方式無非就三種：傳導、輻射、對流等方式，非接觸實現了最后兩種科學經驗，對于熱板的均勻性有大大的提高，所以對晶圓的烘烤均勻性好！