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國內好多做全息光柵的,基片都是以方形基板具多,所以想做好方形基片的勻膠也是很難的一件事,全息光柵的勻膠不差于掩膜版制作的勻膠機,所以想好也很難,主要有幾個因素:
方形基片四角怎樣解決
全息的基板都是較為重量級的,運動慣量怎樣匹配
同時也有顯影工藝,顯影若有槽式,怕過顯,用旋轉方式重量也是個問題
目前愛姆加公司開發的勻膠、顯影也是采用進口超大慣量電機,同時勻膠還需加速度。所以想做一片的光柵設備很重要。國外的JY、麻省理工PEC也有自己的獨門專長。全息光柵國內想把它做好,還有一段很長的路。