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半自動顯影機
    發布時間: 2020-07-31 10:27    

設備主要由主軸單元、顯影液供給系統(附加恒溫裝置)
清洗系統、控制系統等組成   顯影系統可選配幾路液體
手動上下取片,工藝自動完成

半自動顯影機

主要組成部分:

該設備主要由主軸單元、顯影液供給系統(附加恒溫裝置)、清洗系統、控制系統等組成,

采用框架結構,外表為不銹鋼鏡面護板,無發塵量且不吸浮塵顆粒,工作方式為手動上下片,

自動完成顯影、清洗、(氮氣吹干)等工藝。


SPIN DEV UNIT 顯影單元參數:   

SPIN MOTOR 離心機
額定轉速(德國電機): 0~5000rpm
轉速調整量:       1rpm
轉速精度:       ±1rpm(500~300rpm)
加速度:           20000rpm/s
加速度調整量:    1RPM/S
承片臺(chuck)
材料:        防靜電PEEK材質(兩個)與
晶片接觸方式 :   真空吸附
吸附真空度檢測:   數顯壓力傳感器