方形基片勻膠機,主要用于完成方形基片(全息光柵涂膠機)
大尺寸玻璃片勻膠機、方形基片顯影機等勻膠、顯影、清洗工藝
大尺寸的玻璃以及厚度在20MM以內的基片
光刻膠及化學藥液的供給系統可選
方形基片勻膠機,型號M+/C450-40,主要用于完成方形基片(全息光柵涂膠機)、大尺寸玻璃片勻膠機、方形基片顯影機等勻膠、顯影、清洗工藝
玻璃片尺寸wafer size: 500×500×50mm(10-50mm);
方便手動放置、提取基片-主軸可做升降運動;
自動完成基片進行滴膠、布膠、勻膠等工藝;
自動送料機構--(可選);
真空系統根據工藝--(可選);
金屬外殼材料,鑲嵌式固定方式。
工藝涂布效果圖: