主要用于光阻涂膠工藝,
原理是借用于液體的漲力原理進(jìn)行彎月面涂膠,
主要裝置就液刀口溢出的光阻涂布在基板表面
用途:主要用于光阻涂膠工藝,原理是借用于液體的漲力原理進(jìn)行彎月牙涂膠,主要裝置就液刀口溢出的光阻涂布在基板表面。
一、產(chǎn)品使用范圍:
二、彎月牙涂膠基板尺寸:1400 mm×420 mm×200 mm); 液體膠刀的有效尺寸為:420mm:
二、設(shè)備概述:
此膠狹縫系統(tǒng)包括供膠系統(tǒng)、精密膠刀、平面度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)、膠盒移動等部件組成。 1 供膠系統(tǒng):伺服電機(jī)帶動磁力泵供給膠刀,回流過濾循環(huán)供給,膠泵采購進(jìn)口壓力流量可調(diào)的磁力泵。 2 精密膠刀: 膠刀出液狹縫可調(diào),可適應(yīng)100CP-200CP的光阻藥液。同時出液的高度(0.15-0.25mm)通過調(diào)整泵的 供壓力及狹縫配合來調(diào)。 3 平面度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu) 膠刀與膠盒的平行度可通過膠盒內(nèi)的螺釘進(jìn)行調(diào)平,膠刀與連接平面也可調(diào)整,膠刀與基板的平面通過機(jī) 械方式也可調(diào)整。 4 利用電磁閥及氣缸來實(shí)現(xiàn)膠盒蓋的上下、左右方向的移動。 三、設(shè)備控制設(shè)計(jì):
供泵系統(tǒng)膠泵為伺服電機(jī),膠泵的壓力、流速通過調(diào)節(jié)電機(jī)的轉(zhuǎn)速控制。 2.膠盒蓋通過氣缸控制+電磁閥(氣缸都裝有上下,左右位置檢測傳感器)。 3.基板移動加有接近開關(guān)(主要用于檢測基板是否移過)。