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半自動勻膠機-愛姆加
    發布時間: 2020-03-25 14:49    

手動上下片-自動完成滴膠-甩膠-勻膠等工藝 
UP COVER依據基片形狀可選
光刻膠供液系統：可選
EBR清洗功能：可選
BSR背洗功能P：可選

半自動勻膠機-愛姆加

設備特點：
1、手動上下取片
2、自動完成滴膠、甩膠、勻膠等工藝
3、自動供膠系統，可根使用的膠粘度分別配備不同的PUMP
4、EBR&BSR功能可選配

適用圓片尺寸: 2”、3”、4”；以及5x5,10x10,25x25方片

主軸轉速：200～7000轉/分，誤差±20轉/分,連續可調；

主軸加速度（空載）：0～3×103rad/秒2，連續可調； 
工藝工步時間：0～999.9秒，設定增量±0.1秒；