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全自動(dòng)去膠剝離機(jī)
    發(fā)布時(shí)間: 2020-03-25 15:23    

NMP液體--高溫高壓  DMSO液體--高溫高壓去膠剝離機(jī)
半導(dǎo)體工藝中的撕金剝離工藝
功能有：浸泡槽-高壓腔-清洗腔
浸泡槽功能有：加熱-超聲-晃動(dòng)功能
高壓腔：在線加熱，常壓噴嘴
清洗腔：可選超聲波功能，BRUSH功能

全自動(dòng)去膠剝離機(jī)


線性布局，自動(dòng)傳片，自動(dòng)完成去膠工藝。
晶圓尺寸根據(jù)用戶需求。
腔體共有三層，每層都有單獨(dú)的藥液排放 循環(huán)功能。
清洗多種金屬顆粒和有機(jī)物殘留。
藥液在循環(huán)中，根據(jù)顆粒大小配備相應(yīng)過(guò)濾系統(tǒng)。
藥液恒溫，或在線加熱供給功能。

一、適應(yīng)的藥液有以下幾種：

NMP液體--高溫高壓

DMSO液體--高溫高壓

IPA液體

DI-water

二、功能選擇：

片盒到片盒

進(jìn)口機(jī)械手

CHAMBER采用耐酸堿材質(zhì)

分層藥液排放，省液，提供了生產(chǎn)率

自動(dòng)供液、補(bǔ)液。