設備主要由主軸單元、顯影液供給系統(附加恒溫裝置)
清洗系統、控制系統等組成 顯影系統可選配幾路液體
手動上下取片,工藝自動完成
主要組成部分:
該設備主要由主軸單元、顯影液供給系統(附加恒溫裝置)、清洗系統、控制系統等組成,
采用框架結構,外表為不銹鋼鏡面護板,無發塵量且不吸浮塵顆粒,工作方式為手動上下片,
自動完成顯影、清洗、(氮氣吹干)等工藝。
SPIN DEV UNIT 顯影單元參數:
SPIN MOTOR 離心機
額定轉速(德國電機): 0~5000rpm
轉速調整量: 1rpm
轉速精度: ±1rpm(500~300rpm)
加速度: 20000rpm/s
加速度調整量: 1RPM/S
承片臺(chuck)
材料: 防靜電PEEK材質(兩個)與
晶片接觸方式 : 真空吸附
吸附真空度檢測: 數顯壓力傳感器