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8/12英寸全自動(dòng)勻膠顯影機(jī)
    發(fā)布時(shí)間: 2020-08-03 14:54    

設(shè)備組成:片盒站、傳送機(jī)器人、勻膠/顯影單元、烘烤單元(HMDS模塊、熱板模塊、冷板模塊
模塊根據(jù)要求選配
供膠及顯影可定制。

8/12英寸全自動(dòng)勻膠顯影機(jī)

此設(shè)備主要由片盒站、傳送機(jī)器人、勻膠/顯影單元、烘烤單元(HMDS模塊、熱板模塊、冷板模塊)部份附件以及控制系統(tǒng)組成。

勻膠單元(SPIN COT UNIT):

1.根據(jù)工藝選配數(shù)量(COT-DEV-OVEN-HMDS)

2.EBR&BSR 功能可選

顯影單元(DEV UNIT):

根據(jù)工藝選配數(shù)量可選

熱板烘單元(OVEN UNIT):

根據(jù)工藝選配數(shù)量

供液系統(tǒng):膠路,顯影均勻選配