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設(shè)備組成:片盒站、傳送機(jī)器人、勻膠/顯影單元、烘烤單元(HMDS模塊、熱板模塊、冷板模塊
模塊根據(jù)要求選配
供膠及顯影可定制。
此設(shè)備主要由片盒站、傳送機(jī)器人、勻膠/顯影單元、烘烤單元(HMDS模塊、熱板模塊、冷板模塊)部份附件以及控制系統(tǒng)組成。
勻膠單元(SPIN COT UNIT):
1.根據(jù)工藝選配數(shù)量(COT-DEV-OVEN-HMDS)
2.EBR&BSR 功能可選
顯影單元(DEV UNIT):
根據(jù)工藝選配數(shù)量可選
熱板烘單元(OVEN UNIT):
根據(jù)工藝選配數(shù)量
供液系統(tǒng):膠路,顯影均勻選配