量子點專用噴膠設備,主要用于在晶圓表面噴涂甲苯,設備密封;
同時可噴涂四個基片,相不污染。自動運行完成噴膠工藝。
設備主要由旋轉熱板系統、噴嘴掃描系統、流速控制系統、控制系統及排液系統等組成。
量子點專用噴膠設備,主要用于在晶圓表面噴涂甲苯、正己烷、UV液體,設備腔體密封,注入相應壓力流量的氮氣,氮氣需循環排放過濾使用。
設備主要由旋轉熱板系統、噴嘴掃描系統、流速控制系統、控制系統及排液系統等組成,整機采用框架結構,外表為不銹鋼護板,工作方式為手動上下片,自動完成噴膠工藝。
M+M100S-HC屬專用噴膠設備,
主要用于在晶圓表面噴涂甲苯、正己烷、UV液體,設備腔體密封;
注入相應壓力流量的氮氣,氮氣需循環排放過濾使用;
設備主要由旋轉熱板系統、噴嘴掃描系統、流速控制系統、控制系統及排液系統等組成;
整機采用框架結構,外表為不銹鋼護板,工作方式為手動上下片,自動完成噴膠工藝