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噴霧式涂布機(jī)主要用于開(kāi)發(fā)研究和各種半導(dǎo)體器件(MEMS)和
微機(jī)械;混合電路、晶振行業(yè)的噴膠工藝。
用途:
噴霧式涂布機(jī)主要用于開(kāi)發(fā)研究和各種半導(dǎo)體器件(MEMS)和微機(jī)械。對(duì)應(yīng)于超厚膜涂層,它是很難通過(guò)常規(guī)的旋涂機(jī)微粒的化學(xué)溶液,以使通過(guò)的特殊定制的噴霧噴嘴水平薄涂層。
主要特點(diǎn):
噴霧式涂布機(jī)主要用于開(kāi)發(fā)研究和各種半導(dǎo)體器件(MEMS)和微機(jī)械。對(duì)應(yīng)于超厚膜涂層,
它是很難通過(guò)常規(guī)的旋涂機(jī)微粒的化學(xué)溶液,以使通過(guò)的特殊定制的噴霧噴嘴水平薄涂層。
被涂覆的部分上,可以形成均勻的膜是困難的,在傳統(tǒng)的離心器,如在基板上的傾斜表面和
梯形槽頂點(diǎn)。我們還支持基板貫通孔用于固定樣品的未經(jīng)使用的真空抽吸。