愛姆加電子設備
勻膠顯影蝕刻專用設備生產商
誠信創新
精工
專注
專注成就品質，品質塑造未來！
Focus on the achievement of quality, quality to shape the future！?
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“邊膠”的產生及改善
“邊膠”的產生及改善厚膠旋涂和方形襯底勻膠時邊緣會形成較厚的光刻膠膠邊即邊膠，邊膠是硅片邊緣形成的厚度不均勻的膠層，不僅影響晶圓的外觀還對接觸式光刻工藝產生影響，光刻、顯影等過程產生缺陷，芯片性能降低：由于邊緣光刻膠的溶劑殘留量高，即使在前烘后，掩膜板也會粘附【詳細】
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西安干泵-維修業務，愛德華干泵維修，愛發科ULVAC 低溫泵冷泵,
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15891750928 / 029-8362-7399
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